如果六氟化硫氣體的純度低了，其絕緣強度將大幅度下降，使用在電器絕緣時容易被高電壓擊穿造成事故從有關部門的試驗及研究結果得知。那么出現六氟化硫氣體純度不純了有哪些原因？
  （1）六氟化硫氣體純度不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。大家知道，目前化工行業制造六氟化硫氣體的方法主要是采用單質硫磺與過量氣態氟直接化合反應而成；即S+3F2→SF6+Q（放出熱量）。在合成的粗品中含有多種雜質，其雜質的組成和含量因原材料的純 度、生產設備的材質、工藝條件等因素的影響而有很大差異，雜質總含量可達5%。其組成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中帶入的雜質如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。為了凈化粗品中的雜質，合成后的 SF6氣體還需要經過水洗、堿洗、熱解（去除劇毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷凍、蒸餾提純等一系列凈化處理過程才能得到純度在99.8%以上的產品。然后再用壓縮機加壓，充入降溫至-80℃左 右的鋼瓶中，以液態形式存在。在使用時減壓放出，呈氣態沖入電氣設備中。
  （2）電器設備內的SF6氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。
  例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應：會生成氟化亞硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物質。
  （3）電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。 例如：SF6氣體分解物與水的繼發性反應生成氫氟酸、二氧化硫、硫酸等
  （4）電器設備內的 SF6氣體及分解物與電極（Cu－W 合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產物。 例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應： ALF3（固態粉末）ALF3（固態粉末）CuF2(固態粉末) 等固態粉末
  （5）電器設備內的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。