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    電子工業(yè)氣體六氟化硫、氯化氫技術(shù)指標(biāo)

    2016-1-4 14:29:05

    0
     
    電子工業(yè)用六氟化硫SF6
    項(xiàng)目名稱(chēng)
    范圍
    指標(biāo)
    SF6純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2
    99.99
    空氣含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    50.0
    CF4含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    15.0
    H2O含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    8.0
    酸度(以HF計(jì))(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    1.0
    可水解氟化物(以HF計(jì))(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    1.0
    其他雜志(CO2C2F6C2F8SO2F2S2OF2S2OF10)(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    15.0
    雜志總和(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    100
    顆粒
     
    由供需雙方商定
     
    電子工業(yè)用氯化氫HCL
    項(xiàng)目名稱(chēng)
    范圍
    指標(biāo)
    Hcl純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2
    99.999
    O2+Ar含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    1
    N2含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    2
    CO含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    2
    CO2含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    2
    CH4含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    0.5
    烴類(lèi)(C1~C3)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    1
    H2O含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6
    1
    金屬離子含量(Fe/10-6
     
    0.5
    其他離子MnZnCrCoCuNi含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-6
     
    -
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