高純四氟化碳高純氣體等電子特種氣體國產化進程加速
2012-7-4 14:13:04
近幾年來，隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。記者在不久前召開的全國特種氣體第十四次年會上了解到，我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氣體高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開國內市場。
高純氨：國內企業將成主力軍
高純氨作為電子工業中氮化膜的成膜氣體，是化學氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究設計院總工程師孫福楠介紹說，2010年，國產高純氨在太陽能領域發揮了巨大的作用。由于國產高純氨進入市場，改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。
據上海浦江特氣總經理劉煒煒介紹，國外公司中除林德、法液空、日本大陽日酸等在國內建分裝廠外，目前昭和電工、空氣化學品（AP）、住友等也已在國內建立了高純氨工廠，以應對競爭的加劇。面對這種局面，孫福楠顯得十分自信，他介紹說，目前僅光明院一家每年就可以生產上千噸高純氨，國產高純氨正逐步占領國內市場。今后也必將成為中國IC、LED、太陽能電池等領域的主力，這只是一個時間問題。
高純四氟化碳：“有價無貨”時代已經結束
孫福楠介紹說，金融危機暴發前，由于國內不具備四氟化碳規模化生產能力，有錢也買不到產品，市場經常出現“有價無貨”的現象。但隨著國產高純四氟化碳的入市，現在“有價無貨”時代已經結束。據佛山市華特氣體有限公司副總經理傅鑄紅介紹，目前國內市場每年需要高純四氟化碳約1000噸，純度達99.9995%的國產貨基本可滿足國內需求。
我國制氟技術的進步主要得益于軍工技術的支撐，中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工業理化工程研究院等長期以來依托雄厚的技術力量，為我國制氟技術的進步提供了重要的技術支持。
據了解，高純四氟化碳氣廣泛應用于硅材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。我國目前有多家氣體公司如北京綠菱氣體科技有限公司、佛山市華特氣體有限公司等生產高純四氟化碳。
高純氯化氫：成功打開國內市場
高純氯化氫主要用于單晶硅片的拋光和外延，是硬質合金的重要原材料。北京華宇同方化工科技開發有限公司總經理張吉瑞告訴記者，目前我國每年需求高純氯化氫100噸左右，一半以上靠進口。金融危機暴發前，高純氣體中高純氯化氫國內市場一直被國外公司壟斷，國產品牌很難打進去。華宇同方轉變銷售策略，將產品通過國外的中介商銷售，獲得了他們的認可，并逐步贏得了下游客戶的信任。金融危機來臨后，華宇同方趁國外企業修整之機迅速打開了國內市場。
孫福楠說，電子氣體所涉及的不僅僅是一個產業化生產問題，也不單純是一個資金投入的問題，首先要解決的關鍵是技術，國產電子氣體一旦在市場上站穩，必將顯示出其巨大的生命力、強大的競爭力。高純氯化氫的國產化成功，無疑為其他電子氣體的發展提供了借鑒。
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