氦質譜檢漏儀的基本原理如圖1所示。燈絲發出的熱電子加速流向陽極，遇到氣體分子后使氣體分子離子化。在離子向離子收集極運動的途中設置磁場，則離子受洛倫茲力按圓形軌跡運動。離子的質量為m，電荷為e，則圓形軌跡的半徑和質荷比m/e有關。合理設置出口縫隙的位置，使m/e=4，即 He+能穿過縫隙，其他不同于氦質荷比的離子因其偏轉半徑與儀器的狹縫設置不同而無法穿過出口狹縫，因此氦質譜檢漏儀只能檢測到一價氦離子。使用氦質譜檢漏儀，通常要求被檢測空間的真空度在10^-3 Pa以下，檢測精度可達10^-13 Pa·m³·s^-1。

　　氦質譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。

　　檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：

　　(1)對人體和自然環境沒有毒害；

　　(2)不能燃燒，作業安全；

　　(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；

　　(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；

　　(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；

　　(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；

　　(7)氦氣在空氣中的存在量僅為5ppm，容易定點查清漏氣位置。

　　由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實現對特定重點部位的檢漏。

　　一般情況下，真空檢漏時要重點關注以下部位：

　　(1)法蘭接口部位；

　　(2)焊接部位；

　　(3)波紋管部位；

　　(4)其他密封部位。

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