1 低溫精餾法 

制取純氧的單級精餾塔見。空氣被壓縮至 0.5～1.2MPa，并預先冷卻到 133K后送入塔釜盤管，空氣在盤管內冷卻液化，同時管外的液氧蒸發，作為塔的上升蒸氣，管內的壓縮空氣冷卻液化后被導出塔外，節流0.15MPa，約 83K送入塔頂。液體自上而下與自下而上的蒸氣接觸，進行熱質交換，如果塔板數足夠多，在塔釜就可獲得 98.5～99.5％的液態氧。由于塔頂是以液態空氣噴淋的，在塔頂不可能獲得純氮。當液空中氮的濃度為 79％時，塔頂氮的濃度為 93％左右。實際上液空在節流后有一定的汽化率，液空中的氮濃度進一步降低，那么塔頂氣相氮的濃度也隨之降低。節流后的液空汽化率越大，氧的收率越低，制取純氧的單級塔氧的收率只有 65％。單級精餾塔結構簡單,操作方便,便于自動控制,但不能同時獲得氧、氮兩種產品，經濟性能差。為了同時獲得純度較高的氮和氧產品，可采用雙級精餾塔。