氣體知識

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標準混合氣體是一種高純氣體作稀釋氣（又稱平衡氣或背景氣），再添加一種或幾種其他的高純氣體（又稱組分氣或摻雜氣）配置而成。標準混合氣體中組分的含量可以從1*10-6到50%范圍內任意選擇，標準氣體的配置方法主要是稱量法、分壓法、體積法、滲透法、飽和法、點解法、指數稀釋法、流量比混合法等。

一：重量法

該方法應用高載荷精密天平稱量裝入鋼瓶中的各氣體組分,根據各組分的質量比,計算出鋼瓶中標準氣的濃度。將配氣鋼瓶進行預處理,除去銹跡和污垢,并經水壓試驗合格,然后在烘箱中減壓加熱,冷卻后除去水氣,再用稀釋氣體沖洗[1]。要求裝入鋼瓶中的各組分氣體對鋼瓶材料無腐蝕和吸附等作用。

該方法在生產效率上與其它方法相比不是最好的方法。但它以質量單位為依據,在精度上比較可靠,因此,被公認為是制備基準氣體的主要方法,各個國家的基準氣體的配制基本采用重量法。

二：壓力比法

這種方法在配制混合氣體時,根據測定各組分的壓力,按指定濃度進行配氣。根據需要可分別使用波爾銅管式壓力計、油壓力計、麥克列奧真空計等。這種方法的特點是,只需要壓力計,沒有壓縮機也可以制備。然而,充填時容易產生壓縮熱,且混合不勻,對指定濃度準確地充填很困難。

三：質量流量比法

該方法以流量比率混合的方法進行標準氣體的配制,因此流量的準確測定是保證所配制氣體的關鍵,常用的一些流量測量方法受氣壓和溫度的影響較大,容易影響標準氣體的精度。四：靜態容量法

將欲配制組分氣體(或液體)通過注射孔注入一密封容器(混合室)中,同時導入稀釋氣體,測定混合氣體的溫度、壓力。根據配制組分的注入量、容器體積、溫度、壓力計算出標準氣體的濃度。目前,國家標準仍然沿用靜態容量法配氣裝置配氣。這種配氣方法由于壓力和溫度修正的不確定性導致配制的重復性和準確性較差

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