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    三氟化磷《氣體應用大全》

    2014-3-6 22:54:00

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    三氟化磷PF3
    1.別名·英文名
    氟化亞磷;Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。
    2.用途
    發生氣體、氟化劑、外延、離子注入。
    3.制法
    (1)三氟化砷和三氯化磷作用。
    (2)3F2(適量)+2P→2PF3
    4.理化性質
    分子量:87.969
    熔點(101.325kPa): -151.3℃
    沸點(101.325kPa): -101.2℃
    液體密度(171.95K,S.P.): 1574kg/m3
    (0℃): 1130kg/m3
    氣體密度(25℃,101.325kPa): 3.590kg/m℃
    相對密度(氣體.空氣=1,25℃,101.325kPa):3.03
    比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
    臨界溫度: -2.0℃
    臨界壓力:4326kPa
    臨界密度: 592kg/m3
    氣化熱(171.95K): 165.94kJ/kg
    比熱容(氣體,25℃,101.325kPa):Cp=667.16J/(kg·K)
    蒸氣壓(122.15K): 1.333kPa
    (165.15K): 66.661kPa
    (184.45K): 199.983kPa
    導熱系數(氣體,25℃,101.325kPa):0.0164W/(m·K)
    粘度(氣體,25℃,101.325kPa):0.01871mPa·s
    三氟化磷在常溫常壓下為無色無味有毒氣體。液態為無色透明??諝庵胁惶l煙,相當穩定。加熱時與氫反應生成PH3。能被水緩慢分解成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解??扇苡谝掖?。除在高溫外,不腐蝕玻璃。
    5.毒性·安全防護
    小鼠--吸入LCLo:1900mg/m3·10分鐘
    最高容許濃度:1ppm
    三氟化磷是極毒物質。它水解生成的亞磷酸和氟化氫對皮膚、眼睛及呼吸道粘膜有刺激作用,其癥狀與五氟化磷及鹵化磷大致相同(參見氟化氫和五氟化磷)。
    對干燥氣體可用鋼、鎳、蒙乃爾等。
    廢棄的三氟化磷,要均勻地散布在由蘇打灰和消石灰以l:l的比例混合的混合物上面,然后進行混合伴勻,再小心地噴水霧,接著移入大量水中進行中和。
     
     
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