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    氣體知識

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    三氟硅烷《氣體應用大全》

    2014-3-6 22:30:54

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    1.別名·英文名
    Trifluorosilane.
    2.用途
    含氟非晶硅膜、非晶硅的原料氣。
    3.制法
    (1)4SiCl3+3SnF4→4SiHF3+3SnCl4SbCl5
    (2)
    (3)4SiHCl3+3TiF4—→4SiHF3+3TiCl4
    4.理化性質(zhì)
    分子量: 86.09
    熔點: -131.4℃
    沸點(101.325kPa): -95.0℃
    氣體密度: 2.97kg/m3
    臨界溫度: -10℃
    比熱容(氣體,25℃,101.325kPa): 735.328J/(kg·K)
    蒸氣壓(-132.9℃): 2.666kPa
    (-102.8℃): 53.329kPa
    (-90.9℃): 125.256kPa
    三氟硅烷在常溫常壓下為具有強刺激臭的無色氣體。在常溫緩慢地進行分解。加熱時也分解。但是在液氮溫度下停止分解。
    4SiHF3→3SiF4+SiH4
    在空氣中燃燒時發(fā)出淡青色火焰(著火溫度比SiHCl3高)。
    12SiHF3+6O2→3SiF4+3SiO2+4HzSiF6+2H2SiO3
    在水或苛性蘇打水溶液中水解產(chǎn)生氫氣
    2SiHF3+(x+2) H2O—→SiO2·XH2O+H2SiF6+2H2
    與乙醇反應生成氫氣和正硅酸酯Si(OR)4。與濃硝酸作用生成NO2氣體。與氨、胺反應生成加合物。
    5.毒性·安全防護
    參見六氟乙硅烷。
     
     
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