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廣州市譜源氣體有限公司
準分子激光氣體對健康的危害-廣州世源氣體
2019-6-6 15:51:28
相關產品：準分子激光氣體
在準分子激光器全球的醫療、半導體、光纖、平板顯示、材料研究等高端行業得到廣泛的應用，但作為專業的準分子激光氣體的重要廠商，我們同時也發現在準分子激光器的使用上，還存在著一些隱憂，筆者想通過這篇文章，以引起相關操作人員的重視。
準分子激光氣體的主要成分：
氟化氬（ArF) 193 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氟化氪（KrF) 248 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne
顯而易見，準分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體，除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外，對人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害最主要的做法還是通風，增強室內空氣的對流。
除了稀有氣體之外，準分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準分子激光氣體都是以預混的形式進行供應，這些預混氣的F2濃度都在1%以下，但足以對人體健康構成威脅，尤其是一些工業和科研應用的準分子激光氣，使用的是5%F2+95%He，這類型的氣體對人體的危害更為嚴重。
氟氣，化學式F2，是一種淡黃色、極具腐蝕性的雙原子分子氣體，密度（標準狀態下）：1.554kg /m3 比空氣大。有特殊氣味，吸入感覺干燥。
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物質狀態： |
氣體 |
形狀： |
透明氣體 |
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氣味： |
辛辣、臭味 | |
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顏色： |
透明無色 |
沸點/沸點范圍： |
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PH值： |
N/A |
閃火點： |
無 |
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分解溫度： |
無 |
測試方法： |
○開杯 ○閉杯 |
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自燃溫度： |
無 |
爆炸界限： |
爆炸下限(LEL) / 爆炸上限(UEL)：…/… |
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蒸氣壓： |
756.4 psig |
蒸氣密度： |
1.312 (空氣=1) |
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密度： |
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溶解度： |
完全互溶 |
化學分子式： F2
分子量： 37.9968
熔點(101.325kPa)： -219.62℃
沸點(101.325kPa)： -188.1℃
液體密度(-188.1℃ ，S.P.)： 1507kg /m3
氣體密度(25℃ ，101.325kPa)： 1.554kg /m3
相對密度(氣體，空氣=1，25℃ ，101.325kPa)：1.312
比容(21.1℃ ，101.325kPa)： 0.6367m3 /kg
臨界溫度： -128.8℃
臨界壓力： 5215kPa
臨界密度： 574 kg /m3
熔化熱(-219.67℃ ，0.252kPa)： 13.44 KJ/kg
氣化熱(-188.2℃ ，101.325kPa)： 175.51 KJ/Kg
比熱容(氣體，21.1℃ ，101.325kPa)： Cp=827.67J/(mol.K)
Cv=609.65J/(mol.K)
比熱比(氣體，21.1℃ ，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358
蒸氣壓(53.56K)： 0.223kPa
(77.17K)： 37.383kPa
(89.40K)： 162.638kPa
粘度(氣體，0℃ ，101.325kPa)： 0.02180mPa.s
(液體，-192.2℃ )： 0.275mPa.S
表面張力(-193.2℃ )： 14.81mN/m
導熱系數(氣體，0℃ ，101.325kPa)：0.024769W/(mol.K)
(液體，-188.1℃ )： 0.159W/(mol.K)
折射率(氣體，25℃ ，101.325kPa)： 1.000187
(液體，-188.1℃ )： 1.2
毒性級別： 4
易燃性級別： 0
易爆性級別： 3
火災危險度： 極大
氟是電負度最強的元素，也是很強的氧化劑。在常溫下，氟幾乎能和所有的元素化合，并產生大量的熱能，在所有元素中，氟是最活潑的。在－188℃ 以下，凝成黃色的液體，在-223℃ 變成黃色結晶體。由于氟的強化學特性，單質氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化鈣（CaF2），俗稱螢石或氟石。由于原子能工業的發展，提煉核燃料必須使用單質氟，才使得氟氣發展得到大規模的工業生產。氟氣在現代工業中，特別是核工業、電氣和化工行業等部門有著十分重要的用途。
毒性
人吸入TCLo：25ppm，5分鐘，對眼有刺激性
最高容許濃度：0.1 ppm (0.2mg/m3)
氟是劇毒性氣體，能刺激眼、皮膚、呼吸道粘膜。由于它立即與水反應生成氟化氫HF，所以在大多數情況下顯出與氟化氫同樣的毒性。輕微吸入會影響肺、鼻、喉嚨等呼吸道黏膜，導致咳嗽及呼吸困難，過度吸入有可能產生組織破壞或肺水腫。
當氟濃度為5～10ppm時，對眼、鼻、咽喉等粘膜開始有刺激作用，作用時間長時也可引起肺水腫。與皮膚接觸可引起毛發的燃燒，接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化癥和韌帶鈣化。氟物質會與水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸，如果超過20%氟化氫或氫氟酸污染致人體可能導致血鈣過少。吸入氟的患者應立即轉移至無污染的安全地方安置休息，并保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水沖洗之后就醫診治。氟物質亦會與水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸。水中生物部分，如混合氣體大量的在河邊或水中外泄，會導致魚類或水中生物死亡。
安全防護
工作場所要通風保持空氣新鮮干燥。要用特種鋼瓶貯裝。鋼瓶存放時必須與其它物料隔離，特別是與能和氟反應的物料隔絕，要遠離易起火地點。
著火時消防人員須在防爆掩蔽處操作，切不可將水直接噴射漏氣處，否則會助長火勢。滅火可用二氧化碳、干粉、砂土、廢氣可用水吸收。
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個人防護設備： |
呼吸防護：當氟物質超過暴露標準，或是緊急處理程序時，必須使用呼吸防護具。
眼部：頭盔附護目鏡 (不可戴隱形眼鏡)
手套：橡膠手套
其它：全套防化學污染之衣物 |
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衛生措施： |
使用時禁止吸煙或進食，并需注意環境整潔及個人衛生。 |
安全與運輸
氟氣是一種毒性極高的強腐蝕性氣體，在濕空氣中易形成氟化氫或二氟化氫。氟的腐蝕性突出表 現為強烈的酸性刺激性，其性質同氟化氫相似。與水、水蒸氣反應，產生有毒腐蝕性煙氣，并放出熱。
氟氣對皮膚的灼傷速度比氫氟酸快許多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它對眼睛的刺激程度也大大超過 氫氟酸。呼吸到低含量的氟氣不會產生明顯的生理病變，但經過呼吸系統進入人體的骨組織內，引起化 學反應導致骨質松軟。氟氣屬有毒壓縮氣體，宜儲存于陰涼、通風倉內，，并應遠離火種、熱源。氟氣應與易燃或可燃物、金屬粉末等分開存放。
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工程控制： |
工作場地需為通風良好場所，建議鋼瓶放置在安全的通風處如毒氣柜，操作時應有監控系統以降低員工暴露危險 | ||||
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控制參數 | |||||
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八小時日時量平均容許濃度
TWA |
短時間時量平均容許濃度
STEL |
最高容許濃度
Ceiling |
生物標準
BEI(ACGIH) | ||
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0.1 ppm |
2.0 ppm |
10 ppm |
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生物指標 | |||||
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LD50(測試動物吸收途徑) |
LC50(測試動物吸收途徑) | ||||
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測試動物( - )吸收途徑 |
測試動物(185ppm)吸收途徑 | ||||
生態資料
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可能之環境影響/環境流布：氪氣、氖氣為大氣中自然產生之氣體成分之一，不會造成環境影響。在自然水中，包含了鈣及其它含堿之化學物質，與氟物質接觸后會產生氟化鈣及其它的氟化鹽物質等中和現象。此外，氟物質亦會與水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸，所有作業操作必須以降低環境中污染物為目標。 |
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植物或動物影響：因為混合氣體中的毒性物質，動物暴露在混合氣體下會造持細胞組織破壞、燃燒并有可能導致死亡。植物如受到此混合氣體污染，可能遭致有害影響或破壞 |
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水中生物：混合氣體中的氟物質，會對水中生物產生不利的影響，如果混合氣體大量的在河邊或水中外泄，會導致魚類或水中生物死亡。 |
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臭氧消耗影響：此混合氣體的成分不為第一級或第二級臭氧消耗的化學成分 |
廢棄處置方法
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廢棄處置方法：以慢速通過蘇打 (碳酸鈉) 吸收過濾之 |
