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    氣體知識

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    氮 氧(氬)四氟化碳 氧化亞氮 二氧化碳 六氟化硫的測定

    2017-12-5 17:28:22

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    一、儀器
    采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定三氟化氮中四氟化碳(允許采用熱導(dǎo)氣相色譜法)、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。當(dāng)三氟化氮純度的體積分?jǐn)?shù)不大于99.99%時,允許采用熱導(dǎo)氣相色譜儀測定三氟化氮中氮、氧(氬)、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。
    儀器均應(yīng)當(dāng)配備氣路切割系統(tǒng),用于切除樣品氣中絕大部分的三氟化氮。
    二、測定條件
    要求所采用的氣相色譜儀對色譜儀對三氟化氮中氮、氧(氧)、四氟化碳、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的檢測限分別不大于本標(biāo)準(zhǔn)所列相應(yīng)雜質(zhì)指標(biāo)的1/2.
    三、色譜柱
    切割柱:長5.0m,內(nèi)徑2mm,內(nèi)裝粒度為0.18mm~0.25mm的PorapakQ有機(jī)多孔聚合物的不銹鋼柱。色譜柱在180℃通載氣活化2h后備用,切割柱使用溫度為40℃。或采用其他等效色譜柱。
    分析柱:長3.0m,內(nèi)徑2m,內(nèi)徑 內(nèi)裝粒度為0.18mm~0.25mm的HayeSepDB的氣相色譜級多孔聚合物的不銹鋼柱。色譜柱在180℃通載氣活化2h備用,分析柱柱溫約40℃?;虿捎闷渌刃V柱。
    采用本標(biāo)準(zhǔn)推薦的切割柱和分析柱時,三氟化氮中的各種雜質(zhì)組分的流出順序為:氫、氦、氧(氬)、四氟化碳、三氟化氮、二氧化碳、氧化亞氮、六氟化硫。
    四、氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品
    當(dāng)所測定的試樣中三氟化氮純度的體積分?jǐn)?shù)不大于99.99%時,所采用的氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品為氮、氧(氬)、四氟化氮、二氧化碳、氧化亞氮的含量應(yīng)當(dāng)與被測試樣中所對應(yīng)的含量相近,氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品的平衡氣為氦氣。
     
     
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